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半導體DI水中顆粒過濾及細菌控制

作者:凈心來源:仟凈網址:http://www.xamlv.com/

顆粒過濾、捕集過濾和系統預過濾

去除沉積物和其他懸浮顆粒對于任何水處理系統的高效、經濟運行都至關重要。使用深層過濾介質進行顆粒過濾器,防止過量顆粒污染初始處理步驟。反滲透系統預過濾器可保持反滲透膜的性能并降低反滲透膜清潔的頻率。

在工藝用水通過處理設備(如含有活性炭粉末的罐或含有樹脂珠的軟化和去離子罐)后,使用捕集過濾器。這些粉末或樹脂可能會分解、斷裂并釋放小顆粒。過濾器用于捕獲顆粒并防止污染下游處理工藝步驟。

細菌控制

有許多可能的細菌和其他生物可以進入處理過程,但所有這些都可以使用膜過濾器去除。生物體可以通過多種方式進入系統。一種是源水,它本身通常攜帶非致病性生物。系統維護是細菌進入系統的另一種常見方式。當設備打開更換零件或清潔時,內部零件暴露在環境空氣中,使空氣中的細菌進入系統。

制藥用水系統中的細菌控制通常使用熱量(將系統保持在70°C以上的溫度)和附加方法完成,包括過濾,可選。兩張圖都顯示了紫外線燈,然后是過濾器,以去除細菌被燈殺死時產生的“細菌碎片”。細菌過濾器基于膜,孔徑為0.10μm至0.45μm,具體取決于設施的政策。它們將捕獲大部分(如果不是全部)碎片并保護下游過程。

使用點細菌過濾

一些設施可能會使用滅菌過濾器作為防止系統中細菌紊亂的最終保險。如果使用,這些膜過濾器通常具有0.22μm的孔徑額定值,盡管一些操作員選擇使用0.10μm孔徑過濾器。該過濾器是保護下游工藝免受細菌污染的最關鍵過濾器。

超細顆粒去除

為了確保電子/半導體系統分配回路中的超純水(UPW)保持純凈,過濾器C和D用于去除可能進入系統的污染物或系統組件脫落的顆粒。這些過濾器可用于減少生物負荷、滅菌過濾或超細顆粒去除??讖綖?0.10 μm 的膜過濾器用作過濾器 C.過濾器 D 使用切向流超濾器或 0.03 μm 額定死端過濾器??梢赃x擇使用帶正電荷的膜的過濾器,因為它能夠去除有機分子,包括小于膜孔徑的熱原。

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